Dersin Adı Dersin Seviyesi Dersin Kodu Dersin Tipi Dersin Dönemi Yerel Kredi AKTS Kredisi Ders Bilgileri
MİKRO-NANO FABRİKASYON İkinci Düzey BMM453 7 3.00 3.00 Yazdır
   
Dersin Tanımı
Ön Koşul Dersleri -
Eğitimin Dili -
Koordinatör DOÇ. DR. YAVUZ NURİ ERTAŞ
Dersi Veren Öğretim Eleman(lar)ı -
Yardımcı Öğretim Eleman(lar)ı -
Dersin Veriliş Şekli Yüz yüze
Dersin Amacı Bu dersin amacı mikro ve nano fabrikasyonun temellerinin öğrenilmesi, küçük boyutta fabrikasyon yapma teknikleri ve bunların gerçek hayatta uygulama alanları hakkında bilgi sahibi olunmasını sağlamaktır.
Dersin Tanımı -

Dersin İçeriği
1 Faz diyagramları, kristal yapılar
2 Fiziksel Buhar Kaplama
3 Kimyasal Buhar Kaplama
4 Fotolitografi
5 Ekstrem UV Litografisi
6 Fiziksel Aşındırma
7 Kimyasal Aşındırma
8 Termal Oksit Büyütme
9 Mikro-Nano Fabrikasyon Uygulamaları
10 -
11 -
12 -
13 -
14 -
15 -
16
17
18
19
20

Dersin Öğrenme Çıktıları
1 Öğrencinin, faz diyagramları ve kristal yapıları yorumlayarak malzeme özellikleri ile üretim süreçleri arasındaki ilişkiyi açıklama becerisi kazanması
2 Öğrencinin, fiziksel buhar kaplama ve kimyasal buhar kaplama yöntemlerini karşılaştırarak uygun üretim tekniğini seçme ve değerlendirme becerisi kazanması
3 Öğrencinin, fotolitografi ve ekstrem UV litografisi süreçlerini açıklayarak mikro/nano ölçekte desenleme aşamalarını analiz etme becerisi kazanması
4 Öğrencinin, fiziksel ve kimyasal aşındırma yöntemlerini işlem mekanizmaları, avantajları ve sınırlılıkları bakımından karşılaştırma becerisi kazanması
5 Öğrencinin, termal oksit büyütme sürecinin temel ilkelerini kavrayarak yarıiletken üretimindeki işlevini değerlendirme becerisi kazanması
6 Öğrencinin, mikro-nano fabrikasyon uygulamalarında kullanılan temel işlem basamaklarını bir araya getirerek basit bir üretim akışı oluşturma becerisi kazanması
7
8
9
10

*Dersin Program Yeterliliklerine Katkı Seviyesi
1 Kimyasal problemlere temel kimya bilgi ve becerilerini kullanarak tek başına çözümler üretebilme yeteneği
2 İleri araştırmalarda bilgi ve beceri düzeyi planlama ve yürütebilme yeteneği
3 Ulusal ve uluslararası düzeyde kimya ile ilgili konuları izleyebilir, değerlendirip ve yorumlayabilme yeteneği
4 Alanı ile ilgili yeni düşünce ve yöntemler geliştirerek bilgi toplumu oluşum sürecine katkı yapabilme yeteneği
5 Kimya alanında lisans düzeyinde kazanılan bilgileri genişletmek ve geliştirebilme yeteneği
6 Bilimsel ve analitik düşünme ve sentez yapabilme formasyonu kazandırmak
7 Kimya alanında çeşitli cihazları kullanır ve sonuçlarını yorumlayabilme
8 Uzmanlık alanı ile ilgili deneyleri tasarlar ve uygulayabilme yeteneği
9 Deneysel verilerin değerlendirilmesinde çeşitli istatistik metotları ve paket programları kullanabilme yeteneği
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
Yıldızların sayısı 1’den (en az) 5’e (en fazla) kadar katkı seviyesini ifade eder

Planlanan Öğretim Faaliyetleri, Öğretme Metodları ve AKTS İş Yükü
  Sayısı Süresi (saat) Sayı*Süre (saat)
Yüz yüze eğitim 14 2 28
Sınıf dışı ders çalışma süresi (ön çalışma, pekiştirme) 14 1 14
Ödevler 0 0 0
Sunum / Seminer hazırlama 0 0 0
Kısa sınavlar 0 0 0
Ara sınavlara hazırlık 1 8 8
Ara sınavlar 1 2 2
Proje (Yarıyıl ödevi) 0 0 0
Laboratuvar 0 0 0
Arazi çalışması 0 0 0
Yarıyıl sonu sınavına hazırlık 1 10 10
Yarıyıl sonu sınavı 1 2 2
Araştırma 0 0 0
Toplam iş yükü     64
AKTS     3.00

Değerlendirme yöntemleri ve kriterler
Yarıyıl içi değerlendirme Sayısı Katkı Yüzdesi
Ara sınav 1 40
Kısa sınav 0 0
Ödev 0 0
Yarıyıl içi toplam   40
Yarıyıl içi değerlendirmelerin başarıya katkı oranı   40
Yarıyıl sonu sınavının başarıya katkı oranı   60
Genel toplam   100

Önerilen Veya Zorunlu Okuma Materyalleri
Ders kitabı -
Yardımcı Kaynaklar -

Ders İle İlgili Dosyalar