Dersin Adı Dersin Seviyesi Dersin Kodu Dersin Tipi Dersin Dönemi Yerel Kredi AKTS Kredisi Ders Bilgileri
MİKRO-NANO FABRİKASYON Üçüncü Düzey BMM453 7 3.00 3.00 Yazdır
   
Dersin Tanımı
Ön Koşul Dersleri -
Eğitimin Dili -
Koordinatör DOÇ. DR. YAVUZ NURİ ERTAŞ
Dersi Veren Öğretim Eleman(lar)ı -
Yardımcı Öğretim Eleman(lar)ı -
Dersin Veriliş Şekli Yüz yüze
Dersin Amacı Bu dersin amacı mikro ve nano fabrikasyonun temellerinin öğrenilmesi, küçük boyutta fabrikasyon yapma teknikleri ve bunların gerçek hayatta uygulama alanları hakkında bilgi sahibi olunmasını sağlamaktır.
Dersin Tanımı -

Dersin İçeriği
1 Faz diyagramları, kristal yapılar
2 Fiziksel Buhar Kaplama
3 Kimyasal Buhar Kaplama
4 Fotolitografi
5 Ekstrem UV Litografisi
6 Fiziksel Aşındırma
7 Kimyasal Aşındırma
8 Termal Oksit Büyütme
9 Mikro-Nano Fabrikasyon Uygulamaları
10 -
11 -
12 -
13 -
14 -
15 -
16
17
18
19
20

Dersin Öğrenme Çıktıları
1 Öğrencinin, faz diyagramları ve kristal yapıları yorumlayarak malzeme özellikleri ile üretim süreçleri arasındaki ilişkiyi açıklama becerisi kazanması
2 Öğrencinin, fiziksel buhar kaplama ve kimyasal buhar kaplama yöntemlerini karşılaştırarak uygun üretim tekniğini seçme ve değerlendirme becerisi kazanması
3 Öğrencinin, fotolitografi ve ekstrem UV litografisi süreçlerini açıklayarak mikro/nano ölçekte desenleme aşamalarını analiz etme becerisi kazanması
4 Öğrencinin, fiziksel ve kimyasal aşındırma yöntemlerini işlem mekanizmaları, avantajları ve sınırlılıkları bakımından karşılaştırma becerisi kazanması
5 Öğrencinin, termal oksit büyütme sürecinin temel ilkelerini kavrayarak yarıiletken üretimindeki işlevini değerlendirme becerisi kazanması
6 Öğrencinin, mikro-nano fabrikasyon uygulamalarında kullanılan temel işlem basamaklarını bir araya getirerek basit bir üretim akışı oluşturma becerisi kazanması
7
8
9
10

*Dersin Program Yeterliliklerine Katkı Seviyesi
1 İnşaat mühendisliği alanında ileri düzey kuramsal ve uygulamalı bilgiye sahip olur ve bu bilgileri özgün problemlerin çözümünde etkin biçimde kullanır.
2 Mühendislik problemlerinin çözümünde disiplinler arası bilgi ve yaklaşımları etkin biçimde kullanır.
3 Güncel mühendislik teknolojilerini, hesaplama yöntemlerini ve sayısal analiz araçlarını etkin biçimde kullanır.
4 Dijital dönüşüm kapsamında gelişen bilgi teknolojilerini, yapay zeka, büyük veri, yapı bilgi modelleme ve benzeri yenilikçi yaklaşımları mühendislik uygulamalarına entegre eder.
5 Bilimsel ve teknolojik gelişmeleri sürekli takip ederek mesleki bilgi ve becerilerini yaşam boyu öğrenme anlayışı doğrultusunda geliştirir.
6 Ulusal ve uluslararası standartlar, teknik şartnameler ve yasal düzenlemeleri değerlendirerek mühendislik uygulamalarında etkin biçimde uygular.
7 Mühendislik uygulamalarında kalite, güvenlik, sürdürülebilirlik ve çevresel etkileri bütüncül bir yaklaşımla değerlendirir.
8 Kaynakların etkin kullanımı, ekonomik analiz ve risk değerlendirmesi ilkelerini dikkate alarak mühendislik kararları alır.
9 Karmaşık mühendislik projelerini planlama, yürütme, izleme ve değerlendirme süreçlerini etkin şekilde yönetir.
10 Belirsizlik içeren problemlerde analitik düşünme, eleştirel değerlendirme ve bilimsel karar verme becerilerini kullanır.
11 Bireysel ve disiplinler arası ekiplerde etkin görev alır; liderlik, koordinasyon ve iş birliği becerilerini kullanır.
12 Bilimsel araştırma ve mühendislik uygulamalarında yenilikçi, sürdürülebilir ve toplumsal fayda odaklı çözümler geliştirerek mesleğin ilerlemesine katkıda bulunur.
13 Yapım, ihale ve sözleşme süreçlerini etkin biçimde uygular.
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
Yıldızların sayısı 1’den (en az) 5’e (en fazla) kadar katkı seviyesini ifade eder

Planlanan Öğretim Faaliyetleri, Öğretme Metodları ve AKTS İş Yükü
  Sayısı Süresi (saat) Sayı*Süre (saat)
Yüz yüze eğitim 14 2 28
Sınıf dışı ders çalışma süresi (ön çalışma, pekiştirme) 14 1 14
Ödevler 0 0 0
Sunum / Seminer hazırlama 0 0 0
Kısa sınavlar 0 0 0
Ara sınavlara hazırlık 1 8 8
Ara sınavlar 1 2 2
Proje (Yarıyıl ödevi) 0 0 0
Laboratuvar 0 0 0
Arazi çalışması 0 0 0
Yarıyıl sonu sınavına hazırlık 1 10 10
Yarıyıl sonu sınavı 1 2 2
Araştırma 0 0 0
Toplam iş yükü     64
AKTS     3.00

Değerlendirme yöntemleri ve kriterler
Yarıyıl içi değerlendirme Sayısı Katkı Yüzdesi
Ara sınav 1 40
Kısa sınav 0 0
Ödev 0 0
Yarıyıl içi toplam   40
Yarıyıl içi değerlendirmelerin başarıya katkı oranı   40
Yarıyıl sonu sınavının başarıya katkı oranı   60
Genel toplam   100

Önerilen Veya Zorunlu Okuma Materyalleri
Ders kitabı -
Yardımcı Kaynaklar -

Ders İle İlgili Dosyalar