Dersin Adı Dersin Seviyesi Dersin Kodu Dersin Tipi Dersin Dönemi Yerel Kredi AKTS Kredisi Ders Bilgileri
MİKRO-NANO FABRİKASYON Birinci Düzey BMM453 Seçmeli 7 3.00 3.00 Yazdır
   
Dersin Tanımı
Ön Koşul Dersleri -
Eğitimin Dili -
Koordinatör DOÇ. DR. YAVUZ NURİ ERTAŞ
Dersi Veren Öğretim Eleman(lar)ı Doç. Dr. Yavuz Nuri Ertaş
Yardımcı Öğretim Eleman(lar)ı -
Dersin Veriliş Şekli Yüz yüze
Dersin Amacı Bu dersin amacı mikro ve nano fabrikasyonun temellerinin öğrenilmesi, küçük boyutta fabrikasyon yapma teknikleri ve bunların gerçek hayatta uygulama alanları hakkında bilgi sahibi olunmasını sağlamaktır.
Dersin Tanımı -

Dersin İçeriği
1 Faz diyagramları, kristal yapılar
2 Fiziksel Buhar Kaplama
3 Kimyasal Buhar Kaplama
4 Fotolitografi
5 Ekstrem UV Litografisi
6 Fiziksel Aşındırma
7 Kimyasal Aşındırma
8 Termal Oksit Büyütme
9 Mikro-Nano Fabrikasyon Uygulamaları
10 -
11 -
12 -
13 -
14 -
15 -
16
17
18
19
20

Dersin Öğrenme Çıktıları
1 Öğrencinin, faz diyagramları ve kristal yapıları yorumlayarak malzeme özellikleri ile üretim süreçleri arasındaki ilişkiyi açıklama becerisi kazanması
2 Öğrencinin, fiziksel buhar kaplama ve kimyasal buhar kaplama yöntemlerini karşılaştırarak uygun üretim tekniğini seçme ve değerlendirme becerisi kazanması
3 Öğrencinin, fotolitografi ve ekstrem UV litografisi süreçlerini açıklayarak mikro/nano ölçekte desenleme aşamalarını analiz etme becerisi kazanması
4 Öğrencinin, fiziksel ve kimyasal aşındırma yöntemlerini işlem mekanizmaları, avantajları ve sınırlılıkları bakımından karşılaştırma becerisi kazanması
5 Öğrencinin, termal oksit büyütme sürecinin temel ilkelerini kavrayarak yarıiletken üretimindeki işlevini değerlendirme becerisi kazanması
6 Öğrencinin, mikro-nano fabrikasyon uygulamalarında kullanılan temel işlem basamaklarını bir araya getirerek basit bir üretim akışı oluşturma becerisi kazanması
7
8
9
10

*Dersin Program Yeterliliklerine Katkı Seviyesi
1 1.A.Matematik ve fen bilimleri konularında yeterli bilgi birikimi
2 1.B.Bilgisayarla hesaplama ve Alanına özgü mühendislik konularında yeterli bilgi birikimi
3 1.C.Kuramsal ve uygulamalı bilgileri karmaşık mühendislik problemlerinin çözümünde kullanabilme becerisi
4 2.A.Karmaşık mühendislik problemlerini tanımlayabilme ve analiz edebilme, uygun modelleme ve çözüm yöntemlerini seçebilme becerisi
5 2.B.Çözümleri BM Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları açısından değerlendirebilme bilgisi
6 3.A.Karmaşık bir sistemin, sürecin, cihazın veya ürünün ihtiyaç ve gereksinimleri belirleyebilme, modern tasarım yöntem ve araçlarını kullanabilme becerisi
7 3.B.Gerçekçi kısıtları ve koşulları dikkate alarak tasarım yapabilme, tasarımı değerlendirebilme becerisi
8 4.A.Karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için uygun yazılım ve donanım araçlarını kullanabilme, veri analizi, modelleme ve simülasyon araçlarını kullanabilme becerisi
9 4.B.Programlama ve bilişim araçlarını kullanabilme becerisi
10 5.A.Karmaşık mühendislik problemlerinin incelenmesi için literatür araştırması, deney ve ölçüm süreçlerini planlayabilme, veri toplama ve analiz yöntemlerini uygulayabilme becerisi
11 5.B.Sonuçları yorumlayıp raporlayabilme, bulguları bilimsel olarak değerlendirebilme becerisi
12 6.A.Mühendislik uygulamalarının evrensel, toplumsal, çevresel ve hukuksal etkileri konusunda farkındalık
13 6.B.İş sağlığı, güvenliği ve çevre koruma ilkeleri konusunda farkındalık
14 6.C.BM Sürdrülebilir Kalkınma Amaçları ve kaynak verimliliği konusunda farkındalık
15 7.Mühendislik meslek ilkeleri, etik ilkeler, tarafsızlık, hiçbir konuda ayrımcılık yapmama ve çeşitliği kapsama konularda farkındalık.
16 8.A.Disiplin içi ve çok disiplinli ekiplerde (yüz yüze, uzaktan veya karma) çalışabilme, sorumluluk alma ve görev paylaşımı yapabilme becerisi
17 8.B.Bireysel çalışma ve zaman yönetimi becerisi
18 9.A.Teknik rapor ve belge hazırlayabilme, sözlü ve görsel iletişim kurabilme becerisi
19 9.B.Hedef kitlenin çeşitli farklılıklarını (eğitim, dil, meslek gibi) dikkate alarak iletişim kurma becerisi
20 10.A.Proje planlama ve yönetim süreçleri hakkında bilgi
21 10.B.Risk ve kaynak yönetimi konusunda bilgi
22 10.C.Girişimcilik ve yenilikçilik farkındalığı .
23 10.D.Sürdürülebilirlik yaklaşımını mühendislik süreçlerine yansıtabilme konusunda bilgi
24 11.Yaşam boyu öğrenmenin gerekliliği konusunda farkındalık; bilgiye erişebilme, bilim ve teknolojideki gelişmeleri izleme ve kendini sürekli yenileme becerisi.
25 12.A.Türevsel denklemler ve olasılık ile istatistik dahil, ileri matematik, deneysel çalışmaları da içerecek şekilde fizik, kimya, biyoloji ve fizyoloji konularını anlayabilme;
26 12.B.Fen ve mühendislik bilgilerini biyoloji ve mühendisliğin arakesitindeki problemlerin çözümüne etik ilkeleri gözeterek uygulayabilme becerisi;
27 12.C.Canlı sistemler ve bunlardan elde edilen biyolojik materyaller üzerinde ölçüm yapabilme ve bu ölçümlerden toplanacak verileri yorumlama becerisi;
28 12.D.Canlı ve cansız malzemeler ve sistemler arasındaki etkileşime ilişkin problemleri çözme becerisi
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
Yıldızların sayısı 1’den (en az) 5’e (en fazla) kadar katkı seviyesini ifade eder

Planlanan Öğretim Faaliyetleri, Öğretme Metodları ve AKTS İş Yükü
  Sayısı Süresi (saat) Sayı*Süre (saat)
Yüz yüze eğitim 14 2 28
Sınıf dışı ders çalışma süresi (ön çalışma, pekiştirme) 14 1 14
Ödevler 0 0 0
Sunum / Seminer hazırlama 0 0 0
Kısa sınavlar 0 0 0
Ara sınavlara hazırlık 1 8 8
Ara sınavlar 1 2 2
Proje (Yarıyıl ödevi) 0 0 0
Laboratuvar 0 0 0
Arazi çalışması 0 0 0
Yarıyıl sonu sınavına hazırlık 1 10 10
Yarıyıl sonu sınavı 1 2 2
Araştırma 0 0 0
Toplam iş yükü     64
AKTS     3.00

Değerlendirme yöntemleri ve kriterler
Yarıyıl içi değerlendirme Sayısı Katkı Yüzdesi
Ara sınav 1 40
Kısa sınav 0 0
Ödev 0 0
Yarıyıl içi toplam   40
Yarıyıl içi değerlendirmelerin başarıya katkı oranı   40
Yarıyıl sonu sınavının başarıya katkı oranı   60
Genel toplam   100

Önerilen Veya Zorunlu Okuma Materyalleri
Ders kitabı -
Yardımcı Kaynaklar -

Ders İle İlgili Dosyalar